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INFICON（德國） UL1000移動(dòng)式氦檢漏儀專門設(shè)計(jì)用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求：具有耐用性強(qiáng)、測試靈活性好、靈敏度高、啟動(dòng)快，響應(yīng)精確迅速，系統(tǒng)安可靠等特點(diǎn)。
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UL1000符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅(jiān)固的金屬外殼到方便移動(dòng)的滾輪，至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時(shí)間的運(yùn)算法則，都無不顯示了其無與倫比的優(yōu)越性。
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系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
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UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。通過E-MAIL更新軟件，新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
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產(chǎn)品應(yīng)用：
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半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵
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工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
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元器件在組裝前的漏率測試
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要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合
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優(yōu)勢所在：
◆ 具有獨(dú)特的ICAL本底穩(wěn)定功能，提供在10-12毫巴 ?升/ 秒范圍內(nèi)無比優(yōu)越的測量速度和穩(wěn)定性。
◆ 可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器，大而清楚的字體可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。可以數(shù)顯，模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件，易于使用
◆ 德國萊寶高性能機(jī)械泵，抽速：16米3/小時(shí)。可在低溫環(huán)境下啟動(dòng)檢漏儀
◆ 德國普發(fā)三級渦輪進(jìn)氣分子泵，抽速：>70升/秒，采用半磁懸浮軸承，即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會(huì)磨損軸承，高氦壓縮比：比其他檢漏儀高2－4倍。
◆ 兩條鍍釔的銥絲，當(dāng)一只燈絲斷了以后，能自動(dòng)切換到另一只。UL1000獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。
◆ UL1000采用全逆擴(kuò)散檢漏方式，即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴(kuò)散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護(hù)。
◆ 采用先進(jìn)的毛細(xì)管式TL7校準(zhǔn)漏孔，不受環(huán)境溫度變化影響，因此不需要溫度補(bǔ)償。獨(dú)特的測試罐校準(zhǔn)模式不僅校準(zhǔn)儀器，也校準(zhǔn)檢漏罐，是最精確的校準(zhǔn)。
◆ 英福康公司在北京，上海和廣州設(shè)有維修中心及備件倉庫，可以提供24小時(shí)服務(wù)。工程師全部在德國總部接受過嚴(yán)格培訓(xùn)。國內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀，可在緊急情況下提供給用戶免費(fèi)使用。 INFICON有指定維修代理，可提供日常技術(shù)支持及維修
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技術(shù)參數(shù)
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最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）
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＜5×10-12mbar.l/s
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最小可檢漏率（吸槍模式）
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＜3×10-8mbar.l/s
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入口壓強(qiáng) 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
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15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
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抽泵抽速
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16-25立方米/小時(shí)
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氦氣抽速（進(jìn)氣口處） 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
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8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
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可檢質(zhì)量數(shù)
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2、3、4amu, 氫，3氦，氦
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電源電壓
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110－120V；220－240V
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重量
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110公斤；242磅
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尺寸，包括手把（長×寬×高）
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1068×525×850毫米
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索取產(chǎn)品資料，請垂詢我司：0532-88037591/2/3
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